الفاناديوم هو معدن رمادي فضي اللون وكثافته 6.11 جم/سم33ونقطة انصهاره 1919±2 درجة. وهو معدن نادر ذو نقطة انصهار عالية. في إنتاج الدوائر المتكاملة، يستخدم الذهب الخالص عمومًا كطبقة موصلة للسطح، ولكن رقائق الذهب والسيليكون معرضة لتوليد مركبات AuSi منخفضة نقطة الانصهار، مما يؤدي إلى ضعف الرابطة بين واجهات الذهب والسيليكون.
لذلك، تتم إضافة طبقة رابطة إلى سطح رقائق الذهب والسيليكون. غالبًا ما يتم استخدام النيكل النقي كطبقة رابطة، ولكن الانتشار سيتشكل أيضًا بين طبقة النيكل وطبقة الذهب الموصلة. لذلك، هناك حاجة إلى طبقة حاجزة لمنع الانتشار بين طبقة الذهب الموصلة وطبقة النيكل الرابطة.
تحتاج الطبقة الحاجزة إلى استخدام معدن ذو نقطة انصهار عالية ويجب أن يتحمل كثافة تيار عالية. يمكن للفاناديوم عالي النقاء تلبية هذا المطلب. يتمتع الفاناديوم عالي النقاء أيضًا بمرونة جيدة ويمكن لفه على شكل صفائح ورقائق وسحبه إلى أسلاك في درجة حرارة الغرفة.
عملية تحضير هدف الفاناديوم
1. قطع سبائك الفاناديوم ذات النقاء المطلوب وفقًا لحجم الهدف باستخدام آلة النشر الأفقية، ثم التسخين المسبق عند درجة 450-500، ثم التشكيل، والتحكم في معدل التشوه الكلي للتشكيل إلى 70-80٪؛
2. قم بتسخين سبيكة الفاناديوم المزورة عند درجة حرارة 400-500 درجة ووقت احتجاز 60-120 دقيقة، ثم قم بتبريدها عن طريق التبريد الهوائي؛
3. قم بتدوير سبيكة الفاناديوم الملدنة، وتحكم في كمية الضغط لكل تمريرة إلى 0.5-1 مم، وتحكم في التشوه الكلي إلى 70-80٪، حتى يتم الحصول على قطعة الهدف الفاناديوم ذات القطر والسمك المطلوبين؛
4. قم بتلدين قطعة الفاناديوم المستهدفة المدلفنة مرة أخرى عند درجة حرارة 450 درجة مئوية -550 درجة ووقت تثبيت 90-150 دقيقة. بعد التلدين مرة أخرى، قم بتبريدها بالماء للحصول على قطعة الفاناديوم المستهدفة عالية النقاء المطلوبة. قطعة الفاناديوم المستهدفة المحضرة بهذه الطريقة لا تحتوي على بنية داخلية موحدة فحسب، بل تتمتع أيضًا بمزايا الحبيبات الدقيقة.
بالإضافة إلى أهداف الفاناديوم، يمكننا أيضًا توفير أهداف الرش مثل سبيكة النيكل والفاناديوم، وسبائك الكوبالت والفاناديوم، وسبائك التيتانيوم والألومنيوم والفاناديوم، وسبائك الحديد والفاناديوم والجرمانيوم، وسبائك الكوبالت والحديد والفاناديوم والسيليكون، وخماسي أكسيد الفاناديوم.
