من أجل التأثير على أيونات الأرجون (Ar) على سطح الهدف أثناء الطلاء الفراغي، يتم استخدام تفريغ التوهج بشكل أساسي.
يتم إخراج ذرات المادة المستهدفة وتتراكم على سطح الركيزة لتشكل طبقة رقيقة. تتفوق خصائص الفيلم المرشوش وتجانسه على خصائص الفيلم المتبخر، ولكن سرعة طلاءه أبطأ إلى حد كبير. تستخدم غالبية أجهزة الرش الحديثة القوية مغناطيس لتسريع تأين الأرجون حول الهدف عن طريق تصاعد الإلكترونات.
يزيد من احتمالية الاصطدام بين الهدف وأيونات الأرجون،
تعزيز معدل الاخرق. بشكل عام، يتم استخدام الاخرق DC في الغالب للطلاءات المعدنية، في حين يتم استخدام الاخرق RF AC للمواد الخزفية غير الموصلة. الفكرة الأساسية هي استخدام تفريغ التوهج في الفراغ.
التفريغ) تتسارع الكاتيونات الموجودة في البلازما إلى سطح القطب السالب حيث تضرب المادة المتناثرة مثل أيونات الأرجون (Ar) السطح المستهدف. سوف تطير المادة المستهدفة وتترسب على فيلم الركيزة نتيجة لهذا التأثير. بشكل عام، يشتمل تطبيق تقنية الرش لطلاء الفيلم على الميزات التالية:
(1) يمكن تصنيع مادة الفيلم من المعدن أو السبائك أو العازل.
(2) يمكن استخدام أهداف متعددة ومعقدة لإنشاء طبقة رقيقة بنفس التركيبة عند توافر الظروف المناسبة.
(3) يمكن خلط المواد وجزيئات الغاز المستهدفة أو تركيبها عن طريق إضافة الأكسجين أو الغازات النشطة الأخرى إلى جو التفريغ.
(4) يمكن الحصول بسهولة على سمك الفيلم عالي الدقة من خلال التحكم في تيار الإدخال المستهدف ووقت الاخرق.
(5) إنها أكثر ملاءمة لإنشاء أفلام متجانسة ذات مساحة كبيرة مقارنة بالطرق الأخرى.
(6) يمكن تكوين مواقع الهدف والركيزة بشكل تعسفي، ولا تتأثر جزيئات الاخرق بالجاذبية بشكل أساسي.
(7) نظرًا لأن الجسيمات المتناثرة تحمل طاقة عالية، فإنها ستستمر في التشتت على سطح تشكيل الفيلم لإنتاج فيلم قوي وكثيف. قوة الالتصاق بين الركيزة والفيلم تزيد عن 10 أضعاف قوة الالتصاق بفيلم ترسيب البخار العادي. وفي الوقت نفسه، تتطلب الركيزة القليل من الطاقة لأنه عند درجات الحرارة المرتفعة يمكن إنتاج فيلم متبلور.
(8) قد تؤدي كثافة النواة العالية خلال المراحل الأولى من تكوين الفيلم إلى إنتاج أفلام مستمرة رفيعة للغاية بسماكة أقل من 10 نانومتر. (9) قد يتم تصنيع المادة المستهدفة تلقائيًا وبشكل مستمر لفترة طويلة ولها حياة طويلة.
(10) يمكن أن تتخذ المادة المستهدفة مجموعة متنوعة من الأشكال بفضل التصميم الفريد للآلة، والذي يسمح بتحكم أكبر وتحقيق أقصى استفادة
