تحتوي المادة المستهدفة على نطاق واسع من التطبيقات، ونافذة واسعة لتطوير السوق، وتطبيقات ممتازة عبر العديد من التخصصات. لتسريع تأين غاز الأرجون المحيط بالهدف وتحسين احتمالية تصادم الهدف وأيونات الأرجون، يتم استخدام جميع المواد تقريبًا تستخدم أجهزة الرش الحديثة مغناطيسات قوية لتحريك الإلكترونات بحركة حلزونية.
تعزيز معدل المماطلة. في حين أن المواد الخزفية غير الموصلة تستخدم عادة RF AC الاخرق، فإن الطبقات المعدنية تستخدم عادة الاخرق DC. الفكرة الأساسية هي التأثير على أيونات الأرجون (Ar) على الهدف باستخدام تفريغ التوهج في الفراغ. سوف تقذف كاتيونات البلازما المواد على سطح القطب السالب أثناء تسارعها هناك. سوف تطير المادة المستهدفة عند ملامستها وتترسب على الركيزة لتكوين طبقة رقيقة.
بشكل عام، تطبيق طريقة الاخرق لطلاء الفيلم لديه الميزات التالية:
(1) يمكن إنشاء مادة الفيلم من المعدن أو السبائك أو العازل.
(2) يمكن استخدام أهداف متعددة ومعقدة لإنشاء طبقة رقيقة بنفس التركيب عند توافر الظروف المناسبة.
(3) يمكن خلط المواد وجزيئات الغاز المستهدفة أو تركيبها عن طريق إدخال الأكسجين أو الغازات النشطة الأخرى إلى جو التفريغ.
(4) يمكن الحصول بسهولة على سمك الفيلم عالي الدقة من خلال التحكم في تيار إدخال الهدف ووقت الاخرق.
(5) إنها أكثر ملاءمة لإنشاء أفلام موحدة ذات مساحة كبيرة مقارنة بالطرق الأخرى.
(6) يمكن ترتيب مواقع الهدف والركيزة بحرية، ولا تتأثر جزيئات الاخرق بالجاذبية بشكل أساسي.
